Электронный каталог

Электронный ресурс
30.624я73

Кривобоков, Валерий Павлович.
Плазменные покрытия (свойства и применение) [Электронный ресурс] : Учебное пособие / В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьёв ; М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Нац. исследоват.Томский политехн. ун-т". – Томск : ТПУ, 2011. – 136 с. – Режим доступа : http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10268, https://e.lanbook.com/img/cover/book/10268.jpg. – Рекомендовано в качестве учебного пособия Редакционно-издательским советом Томского политехнического университета. – Для авторизованных пользователей МПГУ. – Книга из коллекции ТПУ - Физика. – На рус. яз.

В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.

ББК 30.624я73
537.5

техника = техника : общая технология : плазменная обработка
основной = химия : физическая химия : физическая химия поверхностных явлений : поверхностные слои, прослойки и их свойства : монослои и тонкие пленки
основной = виды изданий : учебные издания
основной = читательское назначение : вузы
основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань
основной = Лань (СЭБ) сделано