Электронный каталог

Электронный ресурс
30.624я73

Кривобоков, Валерий Павлович.
Плазменные покрытия (методы и оборудование) [Электронный ресурс] : Учебное пособие / В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьев ; Федер. агентство по образованию, ГОУ ВПО "Томский политехнический ун-т". – Томск : ТПУ, 2011. – 104 с. – Режим доступа : http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10269. – Для авторизованных пользователей МПГУ. – Книга из коллекции ТПУ - Физика. – На рус. яз. – ISBN 5-98298-191-5.

Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами.

ББК 30.624я73
621.793.7(075.8)

техника = техника : общая технология : плазменная обработка
основной = виды изданий : учебные издания
основной = читательское назначение : вузы
основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань
основной = Лань (СЭБ) сделано