Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Родионов, Ю. А. - Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Родионов, Ю. А. - Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Родионов, Ю. А.
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие для вузов
Издательство: Лань, 2023 г.
ISBN 978-5-507-46956-7
Автор: Родионов, Ю. А.
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие для вузов
Издательство: Лань, 2023 г.
ISBN 978-5-507-46956-7
На полку
Электронный ресурс
Родионов, Ю. А.
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем [Электронный ресурс] : учебное пособие для вузов. – 3-е изд., стер. – Санкт-Петербург : Лань, 2023. – 220 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/324977, https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg. – Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-507-46956-7.
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
54:621.38
основной = ЭБС Лань
Родионов, Ю. А.
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем [Электронный ресурс] : учебное пособие для вузов. – 3-е изд., стер. – Санкт-Петербург : Лань, 2023. – 220 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/324977, https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg. – Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-507-46956-7.
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
54:621.38
основной = ЭБС Лань