Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Владимирова, Л. Н. - Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей пл...
Владимирова, Л. Н. - Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей пл...
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Владимирова, Л. Н.
Ч. 3: Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей пл... : учебно-методическое пособие для вузов
Издательство: ВГУ, 2014 г.
ISBN отсутствует
Автор: Владимирова, Л. Н.
Ч. 3: Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей пл... : учебно-методическое пособие для вузов
Издательство: ВГУ, 2014 г.
ISBN отсутствует
Электронный ресурс
Владимирова, Л. Н.
Ч. 3 : Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме : учебно-методическое пособие для вузов. – Воронеж : ВГУ, 2014. – 21 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/357422, https://e.lanbook.com/img/cover/book/357422.jpg. – Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз.
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров.
основной = ЭБС Лань
Владимирова, Л. Н.
Ч. 3 : Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме : учебно-методическое пособие для вузов. – Воронеж : ВГУ, 2014. – 21 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/357422, https://e.lanbook.com/img/cover/book/357422.jpg. – Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз.
Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров.
основной = ЭБС Лань