Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Смирнов, Сергей Викторович - Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетерострукт...
Смирнов, Сергей Викторович - Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетерострукт...
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Смирнов, Сергей Викторович
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетерострукт... : учебное пособие
Издательство: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010 г.
ISBN отсутствует
Автор: Смирнов, Сергей Викторович
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетерострукт... : учебное пособие
Издательство: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010 г.
ISBN отсутствует
Электронный ресурс
Смирнов, Сергей Викторович.
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : учебное пособие . - Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010 . - 115 с. - Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=208659 . - http://biblioclub.ru/ . - На рус. яз.
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур.Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».
основной = ЭБС Университетская библиотека
Смирнов, Сергей Викторович.
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : учебное пособие . - Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010 . - 115 с. - Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=208659 . - http://biblioclub.ru/ . - На рус. яз.
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур.Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».
основной = ЭБС Университетская библиотека