Электронный каталог

Электронный ресурс

Иванов, И. Г.
Вакуумный практикум : учебно-методическое пособие / Федеральное агентство по образованию Российской Федерации ; Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет". – Ростов-на-Дону : Изд-во Юж. федер. ун-та, 2009. – 56 с. – Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=240988. – http://biblioclub.ru/. – Библиогр. в кн. – На рус. яз. – ISBN 978-5-9275-0604-0.

В пособии дается описание лабораторных работ практикума по физическим основам вакуумной техники, при выполнении которого студенты знакомятся с кинетикой различных молекулярных процессов в вакууме, с основными принципами получения и измерения малых давлений, а также основными принципами вакуумной тонкопленочной технологии. Рекомендуется в качестве методического руководства для студентов 2–3 курсов физических специальностей.

22.63

основной = ЭБС Университетская библиотека
основной = виды изданий : учебные издания : учебно-методические пособия