Электронный каталог

Электронный ресурс
32.844.15я73

Смирнов, Серафим Всеволодович.
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем [Электронный ресурс] : Учебное пособие / С. В. Смирнов. – Москва : ТУСУР, 2010. – 115 с. – Режим доступа : http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=4968, https://e.lanbook.com/img/cover/book/4968.jpg. – Для авторизованных пользователей МПГУ. – Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки. – На рус. яз.

Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».

ББК 32.844.15я73
ББК 22.336.34я73
ББК 30.600.3я73

основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань
техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиоаппаратура : микроэлектроника : интегральные микросхемы
основной = физика : электричество и магнетизм : электромагнитные колебания и волны : спектроскопия
техника = техника : общая технология : нанотехнологии
основной = виды изданий : учебные издания
основной = читательское назначение : вузы
основной = Лань (СЭБ) сделано