Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ратушный, Виктор Иванович - Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций
Ратушный, Виктор Иванович - Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Ратушный, Виктор Иванович
Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций : Учебное пособие для вузов
Серия: Библиотека ядерного университета
Издательство: НИЯУ МИФИ, 2012 г.
ISBN 978-5-7262-1589-1
Автор: Ратушный, Виктор Иванович
Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций : Учебное пособие для вузов
Серия: Библиотека ядерного университета
Издательство: НИЯУ МИФИ, 2012 г.
ISBN 978-5-7262-1589-1
Электронный ресурс
32.843.3я73
Ратушный, Виктор Иванович.
Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций [Электронный ресурс] : Учебное пособие для вузов / В. И. Ратушный, Н. В. Ермолаева, А. Ю. Смолин ; М-во образования и науки Российской Федерации, Нац. исследовательский ядерный ун-т "МИФИ", Волгодонский инженерно-технический ин-т. – Москва : НИЯУ МИФИ, 2012. – 200 с. – (Библиотека ядерного университета). – Режим доступа : http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731. – Библиогр.: с. 193-198. – Для авторизованных пользователей МПГУ. – Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7262-1589-1.
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, дальнейшие перспективы развития и применения. Большое внимание уделено используемому технологическому оборудованию и физическим процессам, лежащим в основе каждого метода, а также методам жидкофазной эпитаксии и получению многокомпонентных твердых растворов соединений A III B V . Пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплинам «Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций», «Технологии материалов электронной техники». Предназначено для организации самостоятельной работы студентов очной формы обучения по направлению подготовки 210100 – «Электроника и наноэлектроника», профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника», а также для аспирантов, научных сотрудников и инженеров-технологов, специализирующихся в области технологии материалов электронной техники.
ББК 32.843.3я73
621.382(075.8)
техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиотехнические материалы и изделия : полупроводниковые материалы и изделия
основной = твердые растворы
основной = виды изданий : учебные издания
основной = читательское назначение : вузы
основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань
основной = Лань (СЭБ) сделано
32.843.3я73
Ратушный, Виктор Иванович.
Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций [Электронный ресурс] : Учебное пособие для вузов / В. И. Ратушный, Н. В. Ермолаева, А. Ю. Смолин ; М-во образования и науки Российской Федерации, Нац. исследовательский ядерный ун-т "МИФИ", Волгодонский инженерно-технический ин-т. – Москва : НИЯУ МИФИ, 2012. – 200 с. – (Библиотека ядерного университета). – Режим доступа : http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75731. – Библиогр.: с. 193-198. – Для авторизованных пользователей МПГУ. – Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7262-1589-1.
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А 3 В 5 , А 2 В 6 , А 2 В 4 , твердых растворов германий–кремний, аппаратурнометодические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, дальнейшие перспективы развития и применения. Большое внимание уделено используемому технологическому оборудованию и физическим процессам, лежащим в основе каждого метода, а также методам жидкофазной эпитаксии и получению многокомпонентных твердых растворов соединений A III B V . Пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплинам «Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций», «Технологии материалов электронной техники». Предназначено для организации самостоятельной работы студентов очной формы обучения по направлению подготовки 210100 – «Электроника и наноэлектроника», профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника», а также для аспирантов, научных сотрудников и инженеров-технологов, специализирующихся в области технологии материалов электронной техники.
ББК 32.843.3я73
621.382(075.8)
техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиотехнические материалы и изделия : полупроводниковые материалы и изделия
основной = твердые растворы
основной = виды изданий : учебные издания
основной = читательское назначение : вузы
основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань
основной = Лань (СЭБ) сделано