Электронный каталог

Электронный ресурс
22.36я73

Антоненко, Сергей Васильевич.
Технология тонких пленок [Электронный ресурс] : Учебное пособие для студентов высших учебных заведений / С. В. Антоненко ; Федеральное агентство по образованию, Московский инженерно-физ. ин-т (гос. ун-т). – Москва : НИЯУ МИФИ, 2008. – 104 с. – Режим доступа : http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=75918. – Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений. – Для авторизованных пользователей МПГУ. – Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Физика. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7262-1036-0.

Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» на кафедре «Физика твердого тела и наносистем». Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем.

ББК 22.36я73
539.23(075)

основной = физика : тонкие пленки
основной = виды изданий : учебные издания
основной = читательское назначение : вузы
основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань
основной = Лань (СЭБ) сделано