Электронный каталог

Электронный ресурс
32.844.15я73

Жаркой, Михаил Филиппович.
Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем [Электронный ресурс] : Учебное пособие / М. Ф. Жаркой ; М-во образования и науки Российской Федерации, Балтийский гос. технический ун-т "Военмех". – Санкт-Петербург : БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2016. – 123 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/98208. – Библиогр.: с. 121-122. – Для авторизованных пользователей МПГУ. – Книга из коллекции БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-85546-944-8.

Приведены базовые техпроцессы изготовления элементов полупроводниковых интегральных схем. Рассмотрен контроль качества кристаллов ИС. Предназначено для студентов дневной формы обучения по специальностям 200100 "Приборостроение", 221700 "Стандартизация и метрология", 210400 и 210601 "Радиоэлектронные системы", а также для студентов вечернего факультета при курсовом и дипломном проектировании

ББК 32.844.15я73
621.3.049.77-047.84

техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиоаппаратура : микроэлектроника
техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиоаппаратура : микроэлектроника : интегральные схемы
основной = виды изданий : учебные издания
основной = читательское назначение : вузы
основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань
основной = Лань (СЭБ) сделано