Электронный каталог

Электронный ресурс

Васильевский, И. С.
Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники [Электронный ресурс] : учебное пособие. – Москва : НИЯУ МИФИ, 2018. – 256 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/126654, https://e.lanbook.com/img/cover/book/126654.jpg. – Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Физика. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7262-2398-8.

Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники, а также технологические процессы при изготовлении электронных компонентов на основе нитридов III группы. Каждое описание лабораторной работы содержит теоретическое введение, которое может использоваться в качестве краткого конспекта лекций, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание, перечень вопросов для самоподготовки и указания по технике безопасности. При выполнении лабораторного практикума используется оборудование НОЦ «Нанотехнологии» НИЯУ МИФИ. Лабораторный практикум создан в рамках выполнения работ по договору № 0000000007415Q050002/01 от 26 сентября 2016 г. c Фондом инфраструктурных и образовательных программ и может служить учебным пособием для различных групп слушателей: студентов, магистров, аспирантов направлений, связанных с физикой и технологией наноструктурной электроники, а также для слушателей по программам повышения квалификации названных направлений. Подготовлено в рамках Программы повышения конкурентоспособности НИЯУ МИФИ.

539.2, 537.9, 53.082.

основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань