Электронный каталог

Электронный ресурс

Кузнецов, Г. Д.
Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур [Электронный ресурс] : учебно-методическое пособие. – Москва : НИЯУ МИФИ, 2018. – 148 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/126681, https://e.lanbook.com/img/cover/book/126681.jpg. – Книга из коллекции НИЯУ МИФИ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7262-2422-0.

Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кристаллографической структурой – химическому осаждению из газовой фазы, осаждению из жидкой фазы и сублимации. Основной акцент делается на возможности использования энергетического взаимодействия на границы раздела фаз для активирования процессов образования слоев – импульсного лазерного и ионно-плазменного. Рассматривается уточненная классификация методов и способов получения тонких слоев и гетероструктур на основе карбида кремния, основанная преимущественно на физических или химических процессах на границе фазообразования. Приводятся и анализируются базовые параметры и свойства полупроводникового карбида кремния, твердых растворов SiC-III-нитриды, включая полиморфизм. Предназначено для бакалавров, магистров, инженеров, аспирантов и научных работников, специализирующихся в области экстремальной электроники.

539.216.2: 621.315.592

основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань
основной = виды изданий : учебные издания : учебно-методические пособия