Электронный каталог

Электронный ресурс

Ершов, Анатолий Викторович.
Напыление тонких пленок испарением в вакууме [Электронный ресурс] : практикум. – Нижний Новгород : ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020. – 30 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/144919, https://e.lanbook.com/img/cover/book/144919.jpg. – Рекомендовано методической комиссией физического факультета для бакалавров, обучающихся по следующим направлениям подготовки: 210100 – «Электроника и наноэлектроника», 222900 – «Нанотехнологии и микросистемная техника». – Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Инженерно-технические науки. – На рус. яз.

Издание представляет собой описание лабораторной практикума по базовому курсу «Физико-химические основы технологии микро- и наноструктур». Методический материал включает краткую характеристику методов тонкопленочной технологии, общие особенности оборудования для получения тонких пленок в вакууме, физические аспекты процессов испарения веществ в вакууме, даны указания к выполнению лабораторного практикума. Практикум предназначен для бакалавров физического факультета ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки: 210100 – «Электроника и наноэлектроника», 222900 – «Нанотехнологии и микросистемная техника».

621.382

основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань