Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Васильев, Владислав Юрьевич - Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники
Васильев, Владислав Юрьевич - Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Васильев, Владислав Юрьевич
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие
Издательство: НГТУ, 2019 г.
ISBN 978-5-7782-3915-9
Автор: Васильев, Владислав Юрьевич
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие
Издательство: НГТУ, 2019 г.
ISBN 978-5-7782-3915-9
На полку
Электронный ресурс
Васильев, Владислав Юрьевич.
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие. – Новосибирск : НГТУ, 2019. – 107 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/152159, https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg. – Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия. – Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7782-3915-9.
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
539.23:621.38.049.77(075.8)
основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань
Васильев, Владислав Юрьевич.
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие. – Новосибирск : НГТУ, 2019. – 107 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/152159, https://e.lanbook.com/img/cover/book/152159.jpg. – Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия. – Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7782-3915-9.
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
539.23:621.38.049.77(075.8)
основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань