Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Вдовичев С. Н. - Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических...
Вдовичев С. Н. - Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических...
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Вдовичев С. Н.
Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических... : электронное учебно-методическое пособие
Издательство: ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2012 г.
ISBN отсутствует
Автор: Вдовичев С. Н.
Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических... : электронное учебно-методическое пособие
Издательство: ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2012 г.
ISBN отсутствует
На полку
Электронный ресурс
Вдовичев, С. Н.
Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур [Электронный ресурс] : электронное учебно-методическое пособие. – Нижний Новгород : ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2012. – 60 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/153454, https://e.lanbook.com/img/cover/book/153454.jpg. – Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Физика. – На рус. яз.
В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установках. Приведены схемы компоновки вакуумных систем и изложены принципы построения вакуумных систем. Изложены современные методы нанесения тонких пленок и основы теории механизма роста пленок напыляемого материала на подложке. Электронное учебно-методическое пособие предназначено для студентов ННГУ, обучающихся по направлению подготовки 011800.62 «Радиофизика», профиль «Электроника, микро- и наноэлектроника» и профиль «Квантовая радиофизика и квантовая электроника», проходящих курс Учебно-научного эксперимента, и по направлению подготовки 011800.68 «Радиофизика», магистерская программа «Физическая электроника», изучающих курсы «Физика сверхпроводников» и «Физика магнетизма».
основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань
Вдовичев, С. Н.
Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур [Электронный ресурс] : электронное учебно-методическое пособие. – Нижний Новгород : ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2012. – 60 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/153454, https://e.lanbook.com/img/cover/book/153454.jpg. – Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Физика. – На рус. яз.
В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установках. Приведены схемы компоновки вакуумных систем и изложены принципы построения вакуумных систем. Изложены современные методы нанесения тонких пленок и основы теории механизма роста пленок напыляемого материала на подложке. Электронное учебно-методическое пособие предназначено для студентов ННГУ, обучающихся по направлению подготовки 011800.62 «Радиофизика», профиль «Электроника, микро- и наноэлектроника» и профиль «Квантовая радиофизика и квантовая электроника», проходящих курс Учебно-научного эксперимента, и по направлению подготовки 011800.68 «Радиофизика», магистерская программа «Физическая электроника», изучающих курсы «Физика сверхпроводников» и «Физика магнетизма».
основной = ЭБС Лань (СЭБ)
основной = ЭБС Лань