Электронный каталог

Книга
22.379.2я54

Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы. Выпуск 10 : сборник статей. – Москва : Мир, 1980. – 336 с. – Перевод с английского серии: "Новости физики твердого тела". – На рус. яз. : 2.80.

Сборник статей, охватывающий следующие вопросы: теоретические проблемы, связанные с ионной бомбардировкой; ионная имплантация и ионное распыление поверхности твердых тел; ионная имплантация в полупроводники и металлы; лазерный и электронный отжиг; радиационно-стимулированная диффузия. Работы, включенные в сборник, доклады, прочитанные на Международной конференции по управлению свойствами поверхностей материалов с помощью ионных пучков (Венгрия, 1978) и Международной конференции по радиационным эффектам в полупроводниках (Франция, 1978). Для научных работников, занимающихся теоретическими и прикладными исследованиями в области физики полупроводников, микроэлектроники и материаловедения а также для аспирантов, специализирующихся по этим проблемам.

ББК 22.379.2я54

техника = техника : радиоэлектроника
основной = физика : электричество и магнетизм : электронные и ионные явления : ионные явления
основной = физика : физика твердого тела : физика полупроводников
основной = виды изданий : научные издания : сборники статей
основной = виды изданий : сериальные издания : продолжающиеся издания