Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Васильев, Владислав Юрьевич - Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники
Васильев, Владислав Юрьевич - Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Васильев, Владислав Юрьевич
Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие
Издательство: НГТУ, 2021 г.
ISBN 978-5-7782-4389-7
Автор: Васильев, Владислав Юрьевич
Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие
Издательство: НГТУ, 2021 г.
ISBN 978-5-7782-4389-7
На полку
Электронный ресурс
Васильев, Владислав Юрьевич.
Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие. – Новосибирск : НГТУ, 2021. – 100 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/216209, https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg. – Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия. – Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7782-4389-7.
Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов нитрида кремния, диоксида кремния, силикатных стекол при ХОГФ для использования в технологиях микро- и наноэлектроники с проектно-технологическими нормами более 150 нм. Рассматривается алгоритм анализа патентов по тематике ТП для технологий ИМС. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет. Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуетсядля магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
539.23 : 621.38.049.77(075.8)
основной = ЭБС Лань
Васильев, Владислав Юрьевич.
Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие. – Новосибирск : НГТУ, 2021. – 100 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/216209, https://e.lanbook.com/img/cover/book/216209.jpg. – Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия. – Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7782-4389-7.
Показаны взаимосвязи параметров процессов химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) и физико-химических свойств тонких пленок (ТП), систематизированы и обобщены основные особенности ТП материалов на основе кремния. Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов нитрида кремния, диоксида кремния, силикатных стекол при ХОГФ для использования в технологиях микро- и наноэлектроники с проектно-технологическими нормами более 150 нм. Рассматривается алгоритм анализа патентов по тематике ТП для технологий ИМС. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет. Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуетсядля магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
539.23 : 621.38.049.77(075.8)
основной = ЭБС Лань