Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Патрушева, Т. Н. - Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Патрушева, Т. Н. - Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Патрушева, Т. Н.
Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Издательство: БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021 г.
ISBN 978-5-907324-46-6
Автор: Патрушева, Т. Н.
Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Издательство: БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021 г.
ISBN 978-5-907324-46-6
На полку
Электронный ресурс
Патрушева, Т. Н.
Безопасность при работах по нанесению тонких пленок [Электронный ресурс]. – Санкт-Петербург : БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021. – 154 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/220157, https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg. – Книга из коллекции БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-907324-46-6.
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенерации отработанных растворов в цехах химической и электрохимической металлизации и охраны труда при производстве этих работ, а также перспективные методы получения полимерных и оксидных пленок. Показана возможность получения функциональных материалов и устройств с использованием безопасных растворных методов. Для магистрантов, аспирантов, преподавателей, научных работников и специалистов в области техносферной безопасности, приборостроения, твердотельной электроники.
628.5:539.23
основной = ЭБС Лань
Патрушева, Т. Н.
Безопасность при работах по нанесению тонких пленок [Электронный ресурс]. – Санкт-Петербург : БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021. – 154 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/220157, https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg. – Книга из коллекции БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-907324-46-6.
Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенерации отработанных растворов в цехах химической и электрохимической металлизации и охраны труда при производстве этих работ, а также перспективные методы получения полимерных и оксидных пленок. Показана возможность получения функциональных материалов и устройств с использованием безопасных растворных методов. Для магистрантов, аспирантов, преподавателей, научных работников и специалистов в области техносферной безопасности, приборостроения, твердотельной электроники.
628.5:539.23
основной = ЭБС Лань