Электронный каталог

Электронный ресурс

Щагин, А. В.
Основы автоматизации технологических процессов : учебное пособие для спо. – Электрон. дан. – Москва : Юрайт, 2023. – 163 с. – (Профессиональное образование). – Режим доступа : https://urait.ru/bcode/510505, https://urait.ru/book/cover/06A3ACB6-315F-4403-9EFB-C1B617628E6B. – Режим доступа: Электронно-библиотечная система Юрайт, для авториз. пользователей. – URL: https://urait.ru/bcode/510505 (дата обращения: 13.03.2023). – На рус. яз. – ISBN 978-5-534-03848-4 : 589.00.

Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.

658.012.011.56:658.512

основной = ЭБС Юрайт