Электронный каталог

Электронный ресурс

Золотухин, Д. Б.
Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий [Электронный ресурс] : учебное пособие для аспирантов направления 11.06.01. – Москва : ТУСУР, 2020. – 172 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/313868, https://e.lanbook.com/img/cover/book/313868.jpg. – Книга из коллекции ТУСУР - Физика. – На рус. яз. – ISBN 978-5-86889-891-4.

Рассматриваются основные физические процессы взаимодействия ускоренных частиц и плазмы с веществом, принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования, применение электронно-ионно-плазменных технологий в промышленности. Для аспирантов направления подготовки 11.06.01, а также студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники, ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Учебное пособие может быть полезным для специалистов и инженеров, сфера деятельности которых касается взаимодействия плазмы и ионных пучков с поверхностью, методов обработки материалов потоками заряженных частиц.

[621.384-047.84+621.38.533.9](075.8)

основной = ЭБС Лань