Электронный каталог

👓
eng|rus
Библиотека Московского Педагогического
Государственного Университета

Адрес: ул. М. Пироговская, д. 1, стр.1
Телефон: 8(499)255-27-57
Часы работы: с 10.00 до 18.00

Поиск :

  • Новые поступления
  • Простой поиск
  • Расширенный поиск

  • Авторы
  • Издательства
  • Серии
  • Тезаурус (Рубрики)

  • Учебная литература:
    • По дисциплинам
    • По образовательным программам
    • Список дисциплин

  • Статистика поисков
  • Электронная библиотека
  • База выпускных квалификационных работ
  • Электронные ресурсы
  • Помощь

Личный кабинет :


Электронный каталог: Орликов, Л. Н. - Основы вакуумных технологий

Орликов, Л. Н. - Основы вакуумных технологий

Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Орликов, Л. Н.
Основы вакуумных технологий : учебное пособие для студентов направления «электроника и наноэлектроника»
Издательство: ТУСУР, 2018 г.
ISBN отсутствует

полный текст

полный текст

На полку На полку


Электронный ресурс

Орликов, Л. Н.
Основы вакуумных технологий [Электронный ресурс] : учебное пособие для студентов направления «электроника и наноэлектроника». – Москва : ТУСУР, 2018. – 89 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/313598, https://e.lanbook.com/img/cover/book/313598.jpg. – Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки. – На рус. яз.

В пособии рассматриваются:  физические принципы формирования приборов электроники и наноэлектроники на основе вакуумных технологий;  основные приемы построения последовательностей технологических операций при формировании и синтезе оптических материалов в вакууме;  современные вакуумные технологии, применяемые при производстве приборов электроники и наноэлектроники;  принципиальные схемы последовательностей технологических операций;  оптимальные режимы проведения технологических операций в вакуумных устройствах;  анализ достоинств и недостатков известных вакуумных технологий формирования оптических материалов на элементах электроники и наноэлектроники. Приведены основы конструирования и сервисного обслуживания современных вакуумных систем. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Основы вакуумных технологий»

621.387.002

основной = ЭБС Лань




© Все права защищены ООО "Компания Либэр" , 2009 - 2026  v.20.203