Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Корнеев, Владимир Станиславович - Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения
Корнеев, Владимир Станиславович - Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Корнеев, Владимир Станиславович
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения : монография
Издательство: СГУГиТ, 2022 г.
ISBN 978-5-907513-88-4
Автор: Корнеев, Владимир Станиславович
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения : монография
Издательство: СГУГиТ, 2022 г.
ISBN 978-5-907513-88-4
На полку
Электронный ресурс
Корнеев, Владимир Станиславович.
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения [Электронный ресурс] : монография. – Новосибирск : СГУГиТ, 2022. – 171 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/317603, https://e.lanbook.com/img/cover/book/317603.jpg. – Книга из коллекции СГУГиТ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-907513-88-4.
Микромеханика – отрасль современной науки и техники, в основе которой лежат технологии объемной и поверхностной обработки кремниевых пластин, применяемые в микроэлектронике. С помощью этих технологий можно изготавливать устройства с микро-размерными подвижными элементами. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой устройства, управляемые внешним воздействием (электростатическим, электромагнитным, пьезоэлектрическим и т. д.), которые могут выполнять функции измерения и контроля параметров природных и техногенных объектов, а также решать задачи управления потоками излучения. Монография обобщает многолетний опыт прикладных работ в области микромеханики, выполненных в соавторстве и отдельно друг от друга и опубликованных в материалах научно-технических конференций и периодических изданиях. Значительная часть оригинальных результатов, представленных в монографии, получены в соавторстве с коллективом УНЛ ФОПМ СГУГиТ и под руководством д. т. н., профессора В. В. Чеснокова. Монография может быть полезной для магистрантов, аспирантов и научных работников, занимающихся разработкой и проектированием МЭМС
535.421
основной = ЭБС Лань
Корнеев, Владимир Станиславович.
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения [Электронный ресурс] : монография. – Новосибирск : СГУГиТ, 2022. – 171 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/317603, https://e.lanbook.com/img/cover/book/317603.jpg. – Книга из коллекции СГУГиТ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-907513-88-4.
Микромеханика – отрасль современной науки и техники, в основе которой лежат технологии объемной и поверхностной обработки кремниевых пластин, применяемые в микроэлектронике. С помощью этих технологий можно изготавливать устройства с микро-размерными подвижными элементами. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой устройства, управляемые внешним воздействием (электростатическим, электромагнитным, пьезоэлектрическим и т. д.), которые могут выполнять функции измерения и контроля параметров природных и техногенных объектов, а также решать задачи управления потоками излучения. Монография обобщает многолетний опыт прикладных работ в области микромеханики, выполненных в соавторстве и отдельно друг от друга и опубликованных в материалах научно-технических конференций и периодических изданиях. Значительная часть оригинальных результатов, представленных в монографии, получены в соавторстве с коллективом УНЛ ФОПМ СГУГиТ и под руководством д. т. н., профессора В. В. Чеснокова. Монография может быть полезной для магистрантов, аспирантов и научных работников, занимающихся разработкой и проектированием МЭМС
535.421
основной = ЭБС Лань