Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Федулов, Ф. А. - Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум
Федулов, Ф. А. - Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Федулов, Ф. А.
Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум
Издательство: РТУ МИРЭА, 2023 г.
ISBN 978-5-7339-1951-5
Автор: Федулов, Ф. А.
Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум
Издательство: РТУ МИРЭА, 2023 г.
ISBN 978-5-7339-1951-5
На полку
Электронный ресурс
Федулов, Ф. А.
Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум [Электронный ресурс]. – Москва : РТУ МИРЭА, 2023. – 79 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/382745, https://e.lanbook.com/img/cover/book/382745.jpg. – Книга из коллекции РТУ МИРЭА - Нанотехнологии. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7339-1951-5.
Лабораторный практикум содержит описания лабораторных работ: «Напыление тонких металлических пленок термическим способом в вакууме», «Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления», «Лазерная обработка материалов и изделий микро- и наноэлектроники», «Измерение оптических параметров кристаллов и тонких пленок методом лазерной эллипсометрии». Практикум разработан для курсов «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» (бакалавры), «Устройства микро- и наносистемной техники» (бакалавры), «Техника эксперимента» (магистры) и «Методы контроля материалов и устройств наноэлектроники и микросистемной техники» (магистры). Практикум предназначен для бакалавров и магистров Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА по направлениям подготовки 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» и 28.03.01, 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
620.3
основной = ЭБС Лань
Федулов, Ф. А.
Технологии наноэлектроники: Лабораторный практикум [Электронный ресурс]. – Москва : РТУ МИРЭА, 2023. – 79 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/382745, https://e.lanbook.com/img/cover/book/382745.jpg. – Книга из коллекции РТУ МИРЭА - Нанотехнологии. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7339-1951-5.
Лабораторный практикум содержит описания лабораторных работ: «Напыление тонких металлических пленок термическим способом в вакууме», «Получение тонкопленочных материалов методом магнетронного распыления», «Лазерная обработка материалов и изделий микро- и наноэлектроники», «Измерение оптических параметров кристаллов и тонких пленок методом лазерной эллипсометрии». Практикум разработан для курсов «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» (бакалавры), «Устройства микро- и наносистемной техники» (бакалавры), «Техника эксперимента» (магистры) и «Методы контроля материалов и устройств наноэлектроники и микросистемной техники» (магистры). Практикум предназначен для бакалавров и магистров Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА по направлениям подготовки 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» и 28.03.01, 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
620.3
основной = ЭБС Лань