Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Васильев, В. Ю. - Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интег...
Васильев, В. Ю. - Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интег...
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Васильев, В. Ю.
Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интег... : учебное пособие
Издательство: НГТУ, 2023 г.
ISBN 978-5-7782-4926-4
Автор: Васильев, В. Ю.
Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интег... : учебное пособие
Издательство: НГТУ, 2023 г.
ISBN 978-5-7782-4926-4
На полку
Электронный ресурс
Васильев, В. Ю.
Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем [Электронный ресурс] : учебное пособие. – Новосибирск : НГТУ, 2023. – 128 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/404429, https://e.lanbook.com/img/cover/book/404429.jpg. – Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия. – Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7782-4926-4.
Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производственного (in-line) контроля тонкопленочных материалов – основы современных ИМС. Приведены примеры приборов контроля и возможностей их применения для характеризации процессов получения и свойств тонких пленок. Рассмотрены решения технологических задач с помощью in-line методов на примере важнейшего узла ИМС – диэлектрической планаризируемой изоляции между транзисторным уровнем (FEOL) и первым уровнем металлизации (BEOL) микросхем. Проанализирован подход к квалификации технологических процессов/оборудования для создания тонких пленок в производстве, изложены примеры проведения исследований технологической направленности. Показаны необходимость и возможности использования вместе с in-line методами также методов контроля at-line (в лабораториях вне производства) и off-line (в специализированных аналитических организациях). В пособии использованы и пояснены многочисленные англоязычные термины, принятые в технологиях и производстве интегральных микросхем. Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуется для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
621.38.049.77:539.23(075.8)
основной = ЭБС Лань
Васильев, В. Ю.
Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем [Электронный ресурс] : учебное пособие. – Новосибирск : НГТУ, 2023. – 128 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/404429, https://e.lanbook.com/img/cover/book/404429.jpg. – Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия. – Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7782-4926-4.
Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производственного (in-line) контроля тонкопленочных материалов – основы современных ИМС. Приведены примеры приборов контроля и возможностей их применения для характеризации процессов получения и свойств тонких пленок. Рассмотрены решения технологических задач с помощью in-line методов на примере важнейшего узла ИМС – диэлектрической планаризируемой изоляции между транзисторным уровнем (FEOL) и первым уровнем металлизации (BEOL) микросхем. Проанализирован подход к квалификации технологических процессов/оборудования для создания тонких пленок в производстве, изложены примеры проведения исследований технологической направленности. Показаны необходимость и возможности использования вместе с in-line методами также методов контроля at-line (в лабораториях вне производства) и off-line (в специализированных аналитических организациях). В пособии использованы и пояснены многочисленные англоязычные термины, принятые в технологиях и производстве интегральных микросхем. Материал пособия может быть рекомендован для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуется для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
621.38.049.77:539.23(075.8)
основной = ЭБС Лань