Электронный каталог

Электронный ресурс

Гребенщикова, М. М.
Плазменное оборудование для нанотехнологий [Электронный ресурс] : учебное пособие. – Казань : КНИТУ, 2022. – 96 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/412304, https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg. – Книга из коллекции КНИТУ - Нанотехнологии. – На рус. яз. – ISBN 978-5-7882-3285-0.

Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высоко- молекулярных материалов.

621.793.7(075)

основной = ЭБС Лань