Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Наумов, В. И. - Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники
Наумов, В. И. - Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Наумов, В. И.
Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники : учебное пособие
Издательство: НГТУ им. Р. Е. Алексеева, 2023 г.
ISBN 978-5-502-01726-8
Автор: Наумов, В. И.
Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники : учебное пособие
Издательство: НГТУ им. Р. Е. Алексеева, 2023 г.
ISBN 978-5-502-01726-8
На полку
Электронный ресурс
Наумов, В. И.
Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники [Электронный ресурс] : учебное пособие. – Нижний Новгород : НГТУ им. Р. Е. Алексеева, 2023. – 267 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/492122, https://e.lanbook.com/img/cover/book/492122.jpg. – Книга из коллекции НГТУ им. Р. Е. Алексеева - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-502-01726-8.
Рассматриваются основные принципы и понятия микроэлектроники, классификация микросхем по функциональным и конструкторско-технологическим признакам, активные и пассивные элементы интегральных микросхем. Даны общие сведения о технологии производства полупроводниковых микросхем, их классификация и описаны основные технологические операции, начиная с получения материалов. Описаны режимы работы и особенности применения оборудования. Подробно изложены физические принципы, на которых основаны современные технологии получения тонкопленочных компонентов интегральных схем. Предназначено для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» всех форм обучения, а также для преподавателей и аспирантов.
621.38
основной = ЭБС Лань
Наумов, В. И.
Технология и оборудование производства материалов и изделий микроэлектронной техники [Электронный ресурс] : учебное пособие. – Нижний Новгород : НГТУ им. Р. Е. Алексеева, 2023. – 267 с. – Режим доступа : https://e.lanbook.com/book/492122, https://e.lanbook.com/img/cover/book/492122.jpg. – Книга из коллекции НГТУ им. Р. Е. Алексеева - Инженерно-технические науки. – На рус. яз. – ISBN 978-5-502-01726-8.
Рассматриваются основные принципы и понятия микроэлектроники, классификация микросхем по функциональным и конструкторско-технологическим признакам, активные и пассивные элементы интегральных микросхем. Даны общие сведения о технологии производства полупроводниковых микросхем, их классификация и описаны основные технологические операции, начиная с получения материалов. Описаны режимы работы и особенности применения оборудования. Подробно изложены физические принципы, на которых основаны современные технологии получения тонкопленочных компонентов интегральных схем. Предназначено для студентов направлений подготовки 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» всех форм обучения, а также для преподавателей и аспирантов.
621.38
основной = ЭБС Лань