Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Галперин, Вячеслав Александрович - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Галперин, Вячеслав Александрович - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Экз. чит. зала
Книга
Автор: Галперин, Вячеслав Александрович
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : Учеб. пособие : Для вузов по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Серия: Нанотехнологии
Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2014, макет г.
ISBN 978-5-9963-0032-7
Автор: Галперин, Вячеслав Александрович
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : Учеб. пособие : Для вузов по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Серия: Нанотехнологии
Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2014, макет г.
ISBN 978-5-9963-0032-7
На полку
Книга
62(075) Г167
Галперин, Вячеслав Александрович.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : Учеб. пособие : Для вузов по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; Под ред. С. П. Тимошенкова . – Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2014, макет. – 283 с. : ил., табл. – (Нанотехнологии). – Библиогр.: с. 275-280. – На рус. яз. – ISBN 978-5-9963-0032-7 : 275.00.
ББК 32.844.1я73
ББК 30.6я73
техника = техника
техника = техника : радиоэлектроника
техника = техника : радиотехника
техника = техника : радиотехника : радиоэлектронная аппаратура
техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиоаппаратура : микроэлектроника
техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиоаппаратура : микроэлектроника : интегральные схемы
основной = обработка
техника = техника : общая технология : нанотехнологии
основной = виды изданий : учебные издания
основной = читательское назначение : вузы
00000000692897 ФИЛУ 62(075) Г167
62(075) Г167
Галперин, Вячеслав Александрович.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : Учеб. пособие : Для вузов по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; Под ред. С. П. Тимошенкова . – Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2014, макет. – 283 с. : ил., табл. – (Нанотехнологии). – Библиогр.: с. 275-280. – На рус. яз. – ISBN 978-5-9963-0032-7 : 275.00.
ББК 32.844.1я73
ББК 30.6я73
техника = техника
техника = техника : радиоэлектроника
техника = техника : радиотехника
техника = техника : радиотехника : радиоэлектронная аппаратура
техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиоаппаратура : микроэлектроника
техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиоаппаратура : микроэлектроника : интегральные схемы
основной = обработка
техника = техника : общая технология : нанотехнологии
основной = виды изданий : учебные издания
основной = читательское назначение : вузы
00000000692897 ФИЛУ 62(075) Г167