Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Данилин, Борис Степанович - Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Данилин, Борис Степанович - Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Экз. чит. зала
Книга
Автор: Данилин, Борис Степанович
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Издательство: Энергоатомиздат, 1989 г.
ISBN 5-283-03939-0
Автор: Данилин, Борис Степанович
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Издательство: Энергоатомиздат, 1989 г.
ISBN 5-283-03939-0
На полку
Книга
537.723 Д187
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. – Москва : Энергоатомиздат, 1989. – 326, 1 с. : ил. – Библиогр.: с. 316-324 (182 назв.). – На рус. яз. – ISBN 5-283-03939-0 : 3.60.
ББК 22.333
ББК 22.371.26
ББК 32.844.15
основной = физика : физика плазмы : низкотемпературная плазма
основной = физика : тонкие пленки
техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиоаппаратура : микроэлектроника : интегральные схемы
00000001026918 ФИЗН 537.723 Д187
537.723 Д187
Данилин, Борис Степанович.
Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин. – Москва : Энергоатомиздат, 1989. – 326, 1 с. : ил. – Библиогр.: с. 316-324 (182 назв.). – На рус. яз. – ISBN 5-283-03939-0 : 3.60.
ББК 22.333
ББК 22.371.26
ББК 32.844.15
основной = физика : физика плазмы : низкотемпературная плазма
основной = физика : тонкие пленки
техника = техника : радиоэлектроника : общая радиотехника : радиоаппаратура : микроэлектроника : интегральные схемы
00000001026918 ФИЗН 537.723 Д187