Электронный каталог

Электронный ресурс

Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники / под ред. А. П. Достанко ; Национальная академия наук Беларуси ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : Беларуская навука, 2016. – 253 с. : ил., табл. – Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=443947. – http://biblioclub.ru/. – Библиогр. в кн. – На рус. яз. – ISBN 978-985-08-1993-2.

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

621.382

основной = ЭБС Университетская библиотека