Электронный каталог

Электронный ресурс

Камлюк, В. С.
Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники : учебное пособие. – Минск : РИПО, 2016. – 383 с. : схем., табл. – Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=463290. – http://biblioclub.ru/. – Библиогр. в кн. – На рус. яз. – ISBN 978-985-503-627-3.

Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем.Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»).

621.3.049.77(075.32)

основной = ЭБС Университетская библиотека