Электронный каталог

👓
eng|rus
Библиотека Московского Педагогического
Государственного Университета

Адрес: ул. М. Пироговская, д. 1, стр.1
Телефон: 8(499)255-27-57
Часы работы: с 10.00 до 18.00

Поиск :

  • Новые поступления
  • Простой поиск
  • Расширенный поиск

  • Авторы
  • Издательства
  • Серии
  • Тезаурус (Рубрики)

  • Учебная литература:
    • По дисциплинам
    • По образовательным программам
    • Список дисциплин

  • Статистика поисков
  • Электронная библиотека
  • База выпускных квалификационных работ
  • Электронные ресурсы
  • Помощь

Личный кабинет :


Электронный каталог: Камлюк, В. С. - Технологическое оборудование для микроэлектроники

Камлюк, В. С. - Технологическое оборудование для микроэлектроники

Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Камлюк, В. С.
Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие
Издательство: РИПО, 2014 г.
ISBN 978-985-503-369-2

полный текст

На полку На полку


Электронный ресурс

Камлюк, В. С.
Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие. – Минск : РИПО, 2014. – 391 с. : схем., ил. – Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=463615. – http://biblioclub.ru/. – Библиогр. в кн. – На рус. яз. – ISBN 978-985-503-369-2.

Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.

621.3.049.77(075)

основной = ЭБС Университетская библиотека




© Все права защищены ООО "Компания Либэр" , 2009 - 2026  v.20.203