Электронный каталог

Электронный ресурс

Савинов, В. П.
Физика высокочастотного емкостного разряда : монография. – Москва : Физматлит, 2013. – 308 с. : ил., схем., табл. – Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=457688. – http://biblioclub.ru/. – Библиогр. в кн. – На рус. яз. – ISBN 978-5-9221-1551-3.

Подробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР) низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле. Предлагается новая классификация ВЧЕР, частота ВЧ-поля трактуется как фундаментальный параметр разряда. Детально рассмотрены свойства приэлектродных слоев пространственного разряда, природа электрического поля в них, процессы транспорта заряда на электроды. Граничные эффекты во ВЧЕР рассматриваются с учетом таких ранее неизвестных эффектов, как дискретный механизм транспорта электронов плазмы на электроды, краевой эффект и др. Особое внимание уделено обнаруженному явлению возникновения приэлектродных электронных пучков. Исследованы свойства плазмы ВЧЕР при различных режимах разряда. Подробно рассмотрены методы диагностики ВЧЕР.Монография рассчитана на научных работников, занимающихся физикой газового разряда и низкотемпературной плазмы, аспирантов и студентов соответствующих специальностей.

537.075.8

основной = ЭБС Университетская библиотека