Электронный каталог

Электронный ресурс

Яфаров, Р. К.
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий. – Москва : Физматлит, 2009. – 217 с. – Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=76739. – http://biblioclub.ru/. – На рус. яз. – ISBN 978-5-9221-1150-8.

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.

533.9

основной = ЭБС Университетская библиотека