Электронный каталог

Электронный ресурс

Технологии субмикронных структур микроэлектроники : монография / под ред. А. П. Достанко ; Национальная академия наук Беларуси ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : Беларуская навука, 2018. – 272 с. : табл., граф., схем., ил. – Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=498815. – http://biblioclub.ru/. – Библиогр. в кн. – На рус. яз. – ISBN 978-985-08-2298-7.

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

621.382.049.77

основной = ЭБС Университетская библиотека