Электронный каталог

Электронный ресурс

Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Министерство образования и науки Российской Федерации ; Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет» ; Инженерно-технологическая академия. – Ростов-на-Дону|Таганрог : Изд-во Юж. федер. ун-та, 2017. – 105 с. : ил. – Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=500090. – http://biblioclub.ru/. – Библиогр. в кн. – На рус. яз. – ISBN 978-5-9275-2395-5.

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 –Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».

621.373.826(075.8)
621.785.37(075.8)

основной = ЭБС Университетская библиотека