Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Светличный, А. М. - Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Светличный, А. М. - Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
![](/Opac/app/webroot/img/doctypes/30.gif)
Нет экз.
Электронный ресурс
Автор: Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие
Издательство: Изд-во Юж. федер. ун-та, 2017 г.
ISBN 978-5-9275-2395-5
Автор: Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие
Издательство: Изд-во Юж. федер. ун-та, 2017 г.
ISBN 978-5-9275-2395-5
Электронный ресурс
Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Министерство образования и науки Российской Федерации ; Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет» ; Инженерно-технологическая академия . - Ростов-на-Дону|Таганрог : Изд-во Юж. федер. ун-та, 2017 . - 105 с. : ил. - Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=500090 . - http://biblioclub.ru/ . - Библиогр. в кн . - На рус. яз. - ISBN 978-5-9275-2395-5 .
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 –Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
621.373.826(075.8)
621.785.37(075.8)
основной = ЭБС Университетская библиотека
Светличный, А. М.
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Министерство образования и науки Российской Федерации ; Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет» ; Инженерно-технологическая академия . - Ростов-на-Дону|Таганрог : Изд-во Юж. федер. ун-та, 2017 . - 105 с. : ил. - Режим доступа : http://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=500090 . - http://biblioclub.ru/ . - Библиогр. в кн . - На рус. яз. - ISBN 978-5-9275-2395-5 .
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 –Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
621.373.826(075.8)
621.785.37(075.8)
основной = ЭБС Университетская библиотека